真空泵按照工作原理，基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。隨著真空應用技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多數需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，因此選用不同類型真空泵組成的真空抽氣機組進行抽氣的情況較多。為此，將這些真空泵按其工作原理或其結構特點進行一些具體的分類，如下：

一、氣體傳輸泵

氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：

1、變容真空泵

變容真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式兩種：

⑴往復真空泵：是利用泵腔內活塞做往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。

⑵旋轉真空泵：是利用泵腔內活塞做旋轉運動，將氣體吸入，壓縮并排出。旋轉真空泵又有如下幾種型式：

①油封式真空泵：它是利用油類密封各運動部件之間的間隙，減少有害空間的一種旋轉變容真空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置，故又稱氣鎮式真空泵。按其結構特點分為如下五種型式。

a)旋片式真空泵：轉子以一定的偏心距裝在泵殼內并與泵殼內表面的固定面靠近，在轉子槽內裝有兩個（或兩個以上）旋片，當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內壁始終接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，可將泵腔分成幾個可變容積。

b）滑閥式真空泵：在偏心轉子外部裝有一個滑閥，轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動，而把泵腔分成兩個可變容積。